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CVD設備

折扣率： 0
最后更新：2016-05-23
關注度：3123
生產企業：山東拓邦冶金設備有限公司

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產品詳細介紹一、產品特點
采用臥式結構，占地空間小，操作方便，可對一些小型工件在真空或者保護氣氛下進行熱處理，是高校、科研院所、工礦企業等做CVD、氣氛保護、還原和真空處理用的理想產品。
二、主要技術參數
1、效工作區：Φ100×200mm
2、均溫區誤差：≤±5℃
3、最高溫度：1000℃
4、長期工作溫度：850℃
5、儀表控溫精度：±1℃
6、極限真空度：5Pa
7、壓升率：≤1.33Pa/h
8、水蒸氣系統：恒溫水箱（室溫-100度，水位可看，溫度可調）
9、爐管：石英管1套，310S管1套
10、快速升溫速率：≥20℃/min
11、慢速升溫、降溫速率：≤0.5℃/min
12、50段智能化程序控制
三、結構組成與特點
本產品由爐體、爐管、控制系統、加熱元件、水冷系統和真空系統等組成

山東拓邦冶金設備有限公司

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