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納米級精密定位臺(微位移平臺可定制構型)

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最后更新：2018-04-17
關注度：3789
生產企業：蘇州邁客榮自動化技術有限公司

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產品詳細介紹
  主要產品系列：一維直驅式、一維放大式、一維Z向式、一維小體積式、一維中空式、一維L式物鏡臺、一維U式物鏡臺、二維集成式、二維模塊式、三維集成式、三維模塊式、三維并聯式、六維并聯式。
  納米級精密定位工作臺以壓電陶瓷致動器為核心驅動元件，通過柔性鉸鏈機構進行無間隙的微位移傳動，運動范圍在幾十微米到幾百微米，運動分辨率和重復定位精度在納米級。主要應用于精密進給系統、精密位移補償、精微操作、MEMS技術、生物工程、細胞操作、微刻蝕、掃描隧道顯微鏡、光學調整、電化學加工等領域。

  主要特點：
  采用壓電陶瓷驅動；
  納米級位移分辨率；
  重復定位精度高；
  優良的頻率響應特性；
  采用計算機有限元仿真分析等現代設計動結構；
  可內置電阻應變片式微位移傳感器，方便實現閉環控制；
  機體材料可選擇鋁合金、Invar合金等，適用于不同的應用場合；
  采用電火花、線切割等加工工藝，以嚴格保證加工精度；
  采用先進的表面處理工藝，提高了適應不同工作環境的能力；
  運動自由度從一維到六維，行程10~400微米，形成多系列產品。

蘇州邁客榮自動化技術有限公司

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