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UP1L科研用超高純氣體純化器
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最后更新:2019-05-14
關 注 度:2979
生產(chǎn)企業(yè):北京億誠恒達科技有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹超高純氣體純化技術是有色金屬研究總院“十三五”重點產(chǎn)業(yè)化方向。在“十二五”期間軍工項目科研成果基礎上研發(fā)的氣體純化材料,具有處理量大、去除雜質(zhì)種類多、吸附深度大、使用壽命長等優(yōu)點,并以此為核心技術開發(fā)出多個型號的惰性氣體、氫氣和氮氣等超高純氣體純化裝置。同時,有研總院自身具備不斷創(chuàng)新的研發(fā)能力,成套的純化材料生產(chǎn)、純化器組裝技術,以及完善的純化器性能測試條件,可根據(jù)用戶需求設計完整解決方案、定制非標產(chǎn)品,并提供各項性能檢測服務,目前產(chǎn)品已應用于中國科學院理化所、中國核工業(yè)集團、西南化工研究設計院、北京師范大學、北京航空航天大學、北京科技大學、國家有色金屬材料檢測中心,哈爾濱師范大學等單位獲得應用。

UP1L 超高純氣體純化器采用活性金屬為化學吸附劑,當原料氣通過活性金屬純化床時,氣體中O 2,H2O,N2,CO,CO2,CH4等雜質(zhì)氣體與活性金屬發(fā)生化學吸附反應,根據(jù)原料氣純度不同,一次純化后出口氣體純度即達到 7N-8N,可實現(xiàn)無人值守全自動運行,并具有實時監(jiān)測、故障報警和反饋等功能。為保證產(chǎn)品質(zhì)量,純化器系統(tǒng)管路連接全部采用 Swagelok 全自動軌道焊機焊接,漏率低于 10-9 Pa;關鍵部件焊接、組裝、生產(chǎn)均在千級超凈環(huán)境中進射流沖蝕試驗機便于在各種條件下測定的磨損率。磨損率可 以用來確定在給定操作條件的最佳材料。它也可以被用來預測使用壽命和壽命周期成本。

UP系列氣體純化器

1.jpg

委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結果

 

氣體類型

H2

O2/Ar

N2

CH4

CO

CO2

H2O

單位

原料氣

0.074

<0.01

0.248

<0.01

<0.01

<0.01

未測試

ppm

純化后

<0.01

<0.01

<0.01

<0.01

<0.01

<0.01

<0.033

ppm

部分用于現(xiàn)場照片:

 2.jpg

                                             

 

山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現(xiàn)場,分析用氣體純度達到光譜儀檢測所需的最高級的綠色。

3.jpg

北京科技大學CVD設備用的多臺UP1L氬氣純化器

4.jpg

西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氬氣純化器

5.jpg

搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統(tǒng),用于人造鉆石生產(chǎn)高純氫場合

6.jpg





UP1L 超高純氣體純化器產(chǎn)品參數(shù):

l  原料氣純度要求:≥99.999%,He/Ar/H2 /N2

l  產(chǎn)品氣純度:≥99.99999%

l  產(chǎn)品氣雜質(zhì)含量:

H2O ≤5ppb

O2 ≤10ppb

N2 ≤10ppb(原料氣非 N2 )

H2 ≤10ppb(原料氣非 H2 )

CO ≤10ppb

CO2 ≤10ppb

CH4 ≤10ppb

NMHC ≤10ppb

l  最大工作流量:1000sccm

l  內(nèi)置顆粒過濾器:2 微米

l  軟件功能:可顯示多達7種工作狀態(tài)或故障報警,并具有壽命計時及提醒功能

l  擴展功能:多臺純化器可同一終端批量控制,也可與其他設備集成使用

l  最大工作壓力:1.0MPa

l  進出氣接口:1/8″卡套或VCR 接頭

l  純化柱及管路:EP級316不銹鋼

l  電源電壓及功率:220V,0.8kw

l  產(chǎn)品外形尺寸:170×160×320mm

 

氣體純化器是集成電路、LED、太陽能板、光纖、燃料電池等制造工藝中必不可少的重要裝備,并可有效提高離子濺射、薄膜生長、焊接、配氣等多項技術的工藝性能。UP1L 超高純氣體純化器系列主要服務于各類科研與分析儀器,如氣相色譜儀、輝光質(zhì)譜儀、光譜儀、鍍膜機等,為其提高高純度載氣或分析氣,也可用于保證材料氣相沉積生長、磁控濺射鍍膜、高精度焊接等用氣純度。

氣體種類

產(chǎn)品用途

應用領域

He

載氣、保護氣純化

色譜儀等分析儀器載氣

Ar

載氣、保護氣、吹掃氣純化

輝光質(zhì)譜儀、磁控濺射、納米材料制備,熱處理保護氣,氬弧焊吹掃氣

N2

保護氣、吹掃氣純化

磁控濺射反應氣、氣路吹掃氣

H2

反應氣、保護氣純化

材料生長、鍍膜反應氣、退火保護氣
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