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產品型號：500*500
產品代碼：
產品價格：11999
計量單位：臺
折 扣 率： 0
最后更新：2014-07-02
關 注 度：3641
生產企業：北京微納通科技有限公司
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產品詳細介紹ABL9000氣浮平臺
1世上最高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預加負載氣浮導軌（空氣軸承）
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50u |
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| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2014-07-01
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